Промышленная ультразвуковая распылительная машина с распылительной насадкой для высокоэффективного нанесения покрытия

Ультразвуковая система напыления фоторезиста представляет собой комплексное решение для покрытия полупроводников однородной пленкой фоторезиста.

По сравнению с традиционным центрифугированием, ультразвуковое распыление фоторезистивного покрытия имеет преимущества в нанесении более равномерного покрытия, особенно в канавках с высоким соотношением сторон и V-образной структуре канавок, центробежное центрифугирование не может нанести равномерное покрытие вдоль боковой стенки для формирования пленки, и на дне полости не осаждается слишком много фоторезиста. Было доказано, что прямое распыление с помощью ультразвуковой технологии является надежным и эффективным методом нанесения фоторезиста на 3D-микроструктуру, тем самым снижая отказ оборудования, вызванный чрезмерным воздействием металла на резистивное покрытие.

Состав оборудования:

Вся машина состоит из ультразвуковой распылительной форсунки, специального приводного источника питания, трехкоординатной сервосистемы, интеллектуальной операционной системы, системы подачи жидкости, низкоскоростного устройства формирования воздуха, корпуса и т. д.

Преимущества:

Высокоравномерное покрытие пленкой различных профилей поверхностей.

Канавка с высоким соотношением сторон может быть покрыта с высокой однородностью.

Спрей, не засоряющий распылитель.

Тонкие слои толщиной в один микрон можно наносить с высокой однородностью.

Проверенный повторяемый процесс распыления.

Высокая однородность: ультразвуковое напыление — это высокопроизводительная промышленная технология прецизионного напыления, используемая для получения высокооднородных субмикронных и нанопленочных покрытий.

Экономия материала и защита окружающей среды: поскольку распыление под низким давлением нелегко контролировать, а жидкость падает на подложку, а не отскакивает от нее, это может гарантировать, что количество избыточного распыления может быть значительно уменьшено, и большое количество материала может быть сэкономлено, а выбросы в окружающую среду могут быть сокращены. Коэффициент использования покрытия ультразвуковым распылением более чем в 4 раза превышает аналогичный показатель традиционного двухжидкостного распыления.

Приложение:

Для пластин МЭМС и других подложек с различной морфологией.

Ультразвуковое распылительное оборудование в основном используется в топливных элементах, тонкопленочных фотоэлектрических элементах, тонкопленочных солнечных покрытиях, перовскитных солнечных элементах, солнечных элементах, графеновых покрытиях, кремниевых фотоэлектрических элементах, стеклянных покрытиях, электронных схемах и других отраслях. Распылительная головка может применяться для различных растворов, сточных вод, химических жидкостей и масляной слизи, которые также могут быть распылены.

Функции:
Uniform coating: uniformity >95%
Экономия сырья: коэффициент использования сырья составляет более 85%, что в 4 раза больше, чем у традиционной воздушной форсунки.
Высокая точность контроля толщины покрытия: возможно точное напыление покрытий от 20 нм до десятков микрон.
Не засоряется
Антикоррозийная насадка
Высокая точность и контролируемость распыления.

горячая этикетка : ультразвуковая распылительная машина с распылительной насадкой для высокоэффективного покрытия, Китай ультразвуковая распылительная машина с распылительной насадкой для высокоэффективного покрытия поставщиков, производителей, фабрик